FFU（Fan Filter Unit）是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的干式墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的（HEPA）或超（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
FFU的特點(diǎn)：
1、靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。
2、可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，留待下次使用。
3、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的*特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，使得密封變得很簡單而且安全。
4、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
5、減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
FFU組合的性能參數(shù)：
模數(shù)尺寸：安裝吊頂龍骨中心線的間距，F(xiàn)FU常用的標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)尺寸為1200*600（4'*2'）、1200*900（4'*3'）、1200*1200（4'*4'）。
實(shí)際尺寸：FFU過濾器的實(shí)際尺寸=模塊尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的圓頂龍骨端面寬度為55mm，模數(shù)尺寸為1200，900，600所對(duì)應(yīng)的FFU過濾器實(shí)際尺寸1170，870，570，風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸為1174，874，574。
機(jī)外余壓：在某一設(shè)定風(fēng)速下，風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓下（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機(jī)外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機(jī)能克服潔凈室循環(huán)風(fēng)阻力的能力，無論是標(biāo)注FFU機(jī)外余壓或風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓TSP，都必須指明送風(fēng)風(fēng)速或風(fēng)量，否則沒有意義。
輸入能耗：FFU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)輸入電壓或輸入電流的乘積，單位是W。顯然，F(xiàn)FU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn)，即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，輸入能耗不同。因此，如果不指名運(yùn)行工況點(diǎn)，輸入能耗值沒有意義。
單位噪音：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)在距離出風(fēng)面中心正下方1.2m處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn)，即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，噪音不同。因此，如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn)，噪音值沒有意義。
微振：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU在大運(yùn)轉(zhuǎn)工況點(diǎn)時(shí)的振動(dòng)幅度和振動(dòng)速率，單位分別是mm和mm/s。
送風(fēng)均勻度：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在距離出風(fēng)面下方150mm(6'')的水平面上測(cè)量逐點(diǎn)的風(fēng)速，得出平均風(fēng)速值。平均風(fēng)速與大風(fēng)速和小風(fēng)速的偏差比即為送風(fēng)均勻度，單位為+/-%。標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002中要求FFU的任一點(diǎn)的送風(fēng)風(fēng)速與其平均風(fēng)速的偏差均應(yīng)在+/-20%以內(nèi)。
過濾器效率等級(jí)：依據(jù)歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822，過濾器等級(jí)從H10-H14，U15-U17，或依據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)MIL-282(HEPA)對(duì)于0.3um的效率值；依據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC007.1，對(duì)于0.12um的效率值。